Neue Turbopumpe für Ionenimplantationsprozesse

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Mit der HiPace 2800 IT stellt Pfeiffer Vacuum eine Turbopumpe vor, die speziell für Ionenimplantationsprozesse konzipiert ist. Die Rotorkonstruktion der Turbopumpe führt zu einem optimierten Saugvermögen für leichte Gase. Dies gewährleistet eine sehr gute Prozessanpassung für Ionenimplantationsprozesse, bei denen insbesondere Wasserstoff entsteht. Das Saugvermögen erreicht bis zu 2.600 l/s für Wasserstoff.

Das System zum Temperaturmanagement verhindert Prozesskondensation und -ablagerungen innerhalb des Pumpsystems. Es ermöglicht die individuelle Einstellung der Temperatur, um den Prozess optimal zu unterstützen. Die spezielle Beschichtung des Rotors gewährleistet die Beständigkeit gegenüber allen Materialien für Ionenimplantationsprozesse. Basierend auf einem sogenannten Hybridlager, einer Kombination aus Keramikkugellagern auf der Vorvakuumseite und permanentmagnetischen Radiallagern auf der Hochvakuumseite, zeichnen sich diese HiPace-Turbopumpen durch eine besonders robuste Lagerausführung aus. Zusammen mit der speziellen Rotorbeschichtung bildet dies nach Herstellerangaben „die Grundlage für die lange Prozesslebensdauer und Zuverlässigkeit der Pumpen.“

www.pfeiffer-vacuum.com

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