Neue Turbopumpen für Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik, Beschichtung, Forschung sowie Entwicklung

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Die neuen Turbopumpen HiPace 350 und 450 von Pfeiffer Vacuum bieten hohe Leistung bei geringem Gewicht und Platzbedarf. Mit einem Hybridlager, bestehend aus

  • einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und
  • einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite,

verfügen diese Turbopumpen über eine besonders robuste Lagerung.

Die innovative Rotorkonstruktion dieser Turbopumpen führt nach Herstellerangaben „zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu umfassender Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie sehr guter Kompression leichter Gase. Sie sorgt zudem für hohe Kosteneffizienz und Flexibilität, da die Pumpen in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden können.“

„Diese Turbopumpen haben ein ideales Verhältnis von Größe zu Leistung. HiPace 350 und 450 sind kompakte und leistungsstarke Turbopumpen im Segment Saugvermögen 300 bis 700 l/s und bieten ein außergewöhnliches Saugvermögen für leichte Gase“, sagt Florian Henss, Leiter Produktmanagement Turbopumpen.

Die integrierte HiPace Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. „Ihr leiser Betrieb und der verbesserte Gasdurchsatz setzen in der Vakuumindustrie neue Maßstäbe,“ so Henss.

Die Pumpen sind nach Semi S2, UL, CSA und Nema 12 zertifiziert. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Pumpenbetreiber vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen laut Herstellerangaben bis zu 5 Jahre wartungsfrei.

www.pfeiffer-vacuum.com

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